发明名称 |
电动热屏提升装置 |
摘要 |
本实用新型涉及直拉硅单晶炉设备,旨在提供电动热屏提升装置。该电动热屏提升装置包括脉冲发生器和至少两个提升装置,提升装置包括电动装置、直线运动单元、调节旋钮、密封座、波纹管、提升杆和提升爪,提升爪连接在提升杆的一端,提升杆的另一端通过波纹管与密封座再与调节旋钮连接,密封座安装在直线运动单元上,直线运动单元与电动装置相连,所述电动装置包括电机及驱动器;脉冲发生器与各个驱动器分别相连接。本实用新型在传统热屏提升的基础上改进为电动提升装置,并采用一个脉冲发生器连接各个驱动器来控制步进电机,这样保证了多处提升点实现同步升降,增强了可靠性,也为实现热屏提升的自动化控制奠定了基础。 |
申请公布号 |
CN203411653U |
申请公布日期 |
2014.01.29 |
申请号 |
CN201320478123.7 |
申请日期 |
2013.08.06 |
申请人 |
杭州慧翔电液技术开发有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司 |
发明人 |
朱亮;王巍;汤成伟;郭建宇;周建灿 |
分类号 |
C30B15/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B15/00(2006.01)I |
代理机构 |
杭州中成专利事务所有限公司 33212 |
代理人 |
周世骏 |
主权项 |
电动热屏提升装置,用于控制直拉硅单晶炉设备中热屏的升降,其特征在于,所述电动热屏提升装置包括脉冲发生器和至少两个提升装置,提升装置包括电动装置、直线运动单元、调节旋钮、密封座、波纹管、提升杆和提升爪,提升爪连接在提升杆的一端,能对热屏提供支撑,提升杆的另一端通过波纹管与密封座再与调节旋钮连接,密封座安装在直线运动单元上,直线运动单元用于提供密封座进行直线运动的轨道,直线运动单元与电动装置相连,所述电动装置包括电机及驱动器;脉冲发生器与各个驱动器分别相连接。 |
地址 |
310030 浙江省杭州市西湖区西湖科技园西园一路16号钱江奔腾科技五号楼四楼 |