发明名称 电动热屏提升装置
摘要 本实用新型涉及直拉硅单晶炉设备,旨在提供电动热屏提升装置。该电动热屏提升装置包括脉冲发生器和至少两个提升装置,提升装置包括电动装置、直线运动单元、调节旋钮、密封座、波纹管、提升杆和提升爪,提升爪连接在提升杆的一端,提升杆的另一端通过波纹管与密封座再与调节旋钮连接,密封座安装在直线运动单元上,直线运动单元与电动装置相连,所述电动装置包括电机及驱动器;脉冲发生器与各个驱动器分别相连接。本实用新型在传统热屏提升的基础上改进为电动提升装置,并采用一个脉冲发生器连接各个驱动器来控制步进电机,这样保证了多处提升点实现同步升降,增强了可靠性,也为实现热屏提升的自动化控制奠定了基础。
申请公布号 CN203411653U 申请公布日期 2014.01.29
申请号 CN201320478123.7 申请日期 2013.08.06
申请人 杭州慧翔电液技术开发有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司 发明人 朱亮;王巍;汤成伟;郭建宇;周建灿
分类号 C30B15/00(2006.01)I 主分类号 C30B15/00(2006.01)I
代理机构 杭州中成专利事务所有限公司 33212 代理人 周世骏
主权项 电动热屏提升装置,用于控制直拉硅单晶炉设备中热屏的升降,其特征在于,所述电动热屏提升装置包括脉冲发生器和至少两个提升装置,提升装置包括电动装置、直线运动单元、调节旋钮、密封座、波纹管、提升杆和提升爪,提升爪连接在提升杆的一端,能对热屏提供支撑,提升杆的另一端通过波纹管与密封座再与调节旋钮连接,密封座安装在直线运动单元上,直线运动单元用于提供密封座进行直线运动的轨道,直线运动单元与电动装置相连,所述电动装置包括电机及驱动器;脉冲发生器与各个驱动器分别相连接。
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