玻璃加工用感光性树脂组合物及玻璃加工方法

摘要

第一提供耐蚀刻性高且分辨率优异，同时抑制侧蚀，可形成纵横比高的树脂图案的玻璃加工用感光性树脂组合物及使用该组合物的玻璃加工方法。第二提供耐蚀刻性高且分辨率优异，同时抑制液体滴落的玻璃加工用感光性树脂组合物及使用该组合物的玻璃加工方法。本发明的第一上述组合物含有具有羟基的质均分子量20000以上的树脂和选自聚烯烃微粒及无机盐微粒中的至少1种填料。本发明的第二的玻璃加工用感光性树脂组合物含有具有羟基的质均分子量20000以上的树脂、填料与流变调节剂的组合。本发明的玻璃加工方法包括在玻璃基板上形成含上述组合物的树脂层的工序、将上述层选择性曝光的曝光工序、将曝光后的上述树脂层显影进行图案图案化的显影工序、将上述树脂图案用作掩模对上述玻璃基板进行蚀刻的蚀刻工序和剥离上述树脂图案的剥离工序。

主权项

一种玻璃加工用感光性树脂组合物，其含有具有羟基的质均分子量为20000以上的树脂、和选自聚烯烃微粒及无机盐微粒中的至少1种填料。