发明名称 一种离子束抛光过程中工件装卡装置和方法
摘要 本发明是离子束抛光过程中工件装卡装置和方法,所述工件装卡装置包括四槽旋转台固定在装卡主平台上,四个沟槽正交对称分布在四槽旋转台上;四个滑动固定柱分别装在四槽旋转台的四个槽上,拧动滑动固定柱上的固定螺栓使滑动固定柱固定或松动;陶瓷帽片固定在滑动固定柱的上面;在滑动固定柱侧面有一个挂钩,在挂钩的下侧有一装卡在滑动固定柱上的升降支架结构。本发明亦具有工件装卡方法在装卡主平台上安装一个四槽旋转台,通过可滑动固定柱把工件装卡在四槽旋转台结构上,通过采用千分表旋转四槽旋转台测量距可滑动固定柱的距离,不断移动可滑动固定柱的位置调节距离一致,确保工件的中心与装卡主平台的中心一致,从而实现工件位置的精确装卡。
申请公布号 CN102501154B 申请公布日期 2014.01.29
申请号 CN201110329856.X 申请日期 2011.10.26
申请人 中国科学院光电技术研究所 发明人 施春燕;钟显云;万勇建;范斌;伍凡;张亮
分类号 B24B13/005(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 主分类号 B24B13/005(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 梁爱荣
主权项 一种离子束抛光过程中工件装卡装置,包括装卡主平台、四槽旋转台、四个沟槽,四个沟槽正交对称分布在四槽旋转台上,其特征在于还包括:滑动固定柱、陶瓷帽片、升降支架结构和挂钩;四槽旋转台固定在装卡主平台上,并通过滚珠连接在装卡主平台上自由旋转;四个滑动固定柱分别装在四槽旋转台的四个槽上,通过拧动滑动固定柱上的固定螺栓使滑动固定柱固定或松动;陶瓷帽片固定在滑动固定柱的上面,用于防止滑动固定柱被离子束轰击;在滑动固定柱侧面有一个挂钩,用于固定工件的上表面;在挂钩的下侧有一装卡在滑动固定柱上的升降支架结构。
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