发明名称 感光性树脂组合物、以及使用了该组合物的感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法和印刷线路板的制造方法
摘要 本发明涉及一种感光性树脂组合物,含有(A)粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)敏化色素,其中,所述(A)粘合剂聚合物具有基于(甲基)丙烯酸的结构单元、基于(甲基)丙烯酸苄酯或(甲基)丙烯酸苄酯衍生物的结构单元,所述(B)光聚合性化合物包含具有1个烯属不饱和键的化合物,(D)敏化色素包含下述通式(1)所示的化合物。式(1)中,R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>各自独立地表示取代或未取代的苯基、噻吩基或呋喃基,R<sup>3</sup>表示碳原子数1~10的烷基、碳原子数1~10的烷氧基或碳原子数1~10的烷基酯基,a和b各自独立地表示0~2的整数,m表示0~5的整数。<img file="DDA0000393571250000011.GIF" wi="1712" he="648" />
申请公布号 CN103543608A 申请公布日期 2014.01.29
申请号 CN201310470387.2 申请日期 2010.02.03
申请人 日立化成工业株式会社 发明人 宫坂昌宏;村松有纪子
分类号 G03F7/027(2006.01)I;G03F7/105(2006.01)I;C08F2/50(2006.01)I;C08F220/06(2006.01)I;C08F257/02(2006.01)I;C08F265/06(2006.01)I;C09D4/06(2006.01)I;G03F7/09(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;H05K3/06(2006.01)I 主分类号 G03F7/027(2006.01)I
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人 钟晶;於毓桢
主权项 1.一种感光性树脂组合物,是含有(A)粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)敏化色素的感光性树脂组合物,所述(A)粘合剂聚合物具有基于(甲基)丙烯酸的结构单元、以及基于(甲基)丙烯酸苄酯或(甲基)丙烯酸苄酯衍生物的结构单元,所述(B)光聚合性化合物包含具有1个烯属不饱和键的化合物,所述(D)敏化色素包含下述通式(1)所示的化合物,<img file="FDA0000393571220000011.GIF" wi="1235" he="486" />式(1)中,R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>各自独立地表示取代或未取代的苯基、噻吩基或呋喃基,R<sup>3</sup>表示碳原子数1~10的烷基、碳原子数1~10的烷氧基或碳原子数1~10的烷基酯基,a和b各自独立地表示0~2的整数,m表示0~5的整数,在m为2~5的情况下,存在的多个R<sup>3</sup>彼此既可以相同也可以不同。
地址 日本东京都