发明名称 |
感光性树脂组合物、以及使用了该组合物的感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法和印刷线路板的制造方法 |
摘要 |
本发明涉及一种感光性树脂组合物,含有(A)粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)敏化色素,其中,所述(A)粘合剂聚合物具有基于(甲基)丙烯酸的结构单元、基于(甲基)丙烯酸苄酯或(甲基)丙烯酸苄酯衍生物的结构单元,所述(B)光聚合性化合物包含具有1个烯属不饱和键的化合物,(D)敏化色素包含下述通式(1)所示的化合物。式(1)中,R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>各自独立地表示取代或未取代的苯基、噻吩基或呋喃基,R<sup>3</sup>表示碳原子数1~10的烷基、碳原子数1~10的烷氧基或碳原子数1~10的烷基酯基,a和b各自独立地表示0~2的整数,m表示0~5的整数。<img file="DDA0000393571250000011.GIF" wi="1712" he="648" /> |
申请公布号 |
CN103543608A |
申请公布日期 |
2014.01.29 |
申请号 |
CN201310470387.2 |
申请日期 |
2010.02.03 |
申请人 |
日立化成工业株式会社 |
发明人 |
宫坂昌宏;村松有纪子 |
分类号 |
G03F7/027(2006.01)I;G03F7/105(2006.01)I;C08F2/50(2006.01)I;C08F220/06(2006.01)I;C08F257/02(2006.01)I;C08F265/06(2006.01)I;C09D4/06(2006.01)I;G03F7/09(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;H05K3/06(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/027(2006.01)I |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 11243 |
代理人 |
钟晶;於毓桢 |
主权项 |
1.一种感光性树脂组合物,是含有(A)粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)敏化色素的感光性树脂组合物,所述(A)粘合剂聚合物具有基于(甲基)丙烯酸的结构单元、以及基于(甲基)丙烯酸苄酯或(甲基)丙烯酸苄酯衍生物的结构单元,所述(B)光聚合性化合物包含具有1个烯属不饱和键的化合物,所述(D)敏化色素包含下述通式(1)所示的化合物,<img file="FDA0000393571220000011.GIF" wi="1235" he="486" />式(1)中,R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>各自独立地表示取代或未取代的苯基、噻吩基或呋喃基,R<sup>3</sup>表示碳原子数1~10的烷基、碳原子数1~10的烷氧基或碳原子数1~10的烷基酯基,a和b各自独立地表示0~2的整数,m表示0~5的整数,在m为2~5的情况下,存在的多个R<sup>3</sup>彼此既可以相同也可以不同。 |
地址 |
日本东京都 |