发明名称 |
抗蚀膜剥离剂 |
摘要 |
本发明提供了一种新型的抗蚀膜剥离剂,其包括N-乙基氨基甲酸乙酯、乙二醇单丁醚、没食子酸、有机溶剂和防腐蚀剂。其在剥离用于布图电子电路或显示元件金属布线的抗蚀膜的过程中,不腐蚀金属布线,特别是不腐蚀铝(aluminum)、钼(molybdenum)、铜(copper)、钛(titanium)等金属,且具有优秀的抗蚀膜剥离性的抗蚀膜剥离剂组合物。 |
申请公布号 |
CN103543618A |
申请公布日期 |
2014.01.29 |
申请号 |
CN201310453055.3 |
申请日期 |
2013.09.27 |
申请人 |
杨桂望 |
发明人 |
杨桂望 |
分类号 |
G03F7/42(2006.01)I;C07D235/20(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/42(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种新型的抗蚀膜剥离剂,其特征在于:包括N‑乙基氨基甲酸乙酯、乙二醇单丁醚、没食子酸、有机溶剂和防腐蚀剂。 |
地址 |
266000 山东省青岛市市北区重庆南路35号1单元503室 |