多周期调制结构分布反馈半导体激光器及方法

摘要

多周期调制（MCPM）分布反馈（DFB）半导体激光器，其特征是采用多段周期调制布拉格光栅结构，即在均匀光栅的不同位置处插入多段周期调制光栅多段周期调制光栅的周期大于均匀光栅的周期；多段是二段以上；在均匀光栅的不同位置处插入的多段周期调制光栅的周期是相同的，但是长度可以相同或不同。该发明利用多段周期调制结构，使得沿着腔长分布的载流子密度和场强分布更加均匀，助于抑制空间烧孔效应（SHB），而是激光器保持稳定的单模特性。基于REC技术的多周期调制结构的DFB半导体激光器，采用采样布拉格光栅对于普通布拉格光栅的等效光栅来实现多周期调制结构，降低了工艺的复杂程度，也提高了成品率。

主权项

1.多周期调制（MCPM）分布反馈（DFB）半导体激光器，其特征是采用多段周期调制布拉格光栅结构，即在均匀光栅的不同位置处插入多段周期调制光栅多段周期调制光栅的周期大于均匀光栅的周期；多段是二段以上；插入的周期调制光栅的周期为其中Λ₀为均匀光栅的周期，Λ_s为周期调制光栅周期，D为一段周期调制光栅长度，为该周期调制光栅等效的相移。