| 发明名称 | 用于清洁线锯的线的装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及用于清洁线锯的线的装置。根据本实用新型，提供用于清洁适合于锯切半导体工件（130）的线锯的线（150）的装置（100、300、400、500、700）、方法和用法。装置（100、300、400、500、700）包含容器（110），容器（110）包含第一开口（115）。容器（110）由疏松固体颗粒（111）填充并经调适以使得线（150）能够经第一开口（115）通过疏松固体颗粒（111）。 | ||
| 申请公布号 | CN203408935U | 申请公布日期 | 2014.01.29 |
| 申请号 | CN201320251120.X | 申请日期 | 2013.05.10 |
| 申请人 | 应用材料瑞士有限责任公司 | 发明人 | J·E·朴;R·叙埃尔迪亚 |
| 分类号 | B08B7/00(2006.01)I | 主分类号 | B08B7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 侯颖媖 |
| 主权项 | 一种用于清洁适合于锯切半导体工件（130）的线锯的线（150）的装置（100、300、400、500、700），所述装置包括：包含第一开口（115）的容器（110），其中所述容器（110）由疏松固体颗粒（111）填充，并且经调适以使得所述线（150）能够通过所述第一开口（115）并通过所述疏松固体颗粒（111）。 | ||
| 地址 | 瑞士洛桑 | ||