发明名称 用于晶体硅片的纹理蚀刻溶液组合物和纹理蚀刻方法
摘要 本发明涉及用于晶体硅片的纹理蚀刻溶液组合物和纹理蚀刻方法。所述用于晶体硅片的纹理蚀刻溶液组合物包括碱性化合物;多糖;与多糖一起的最佳含量的脂肪酸、脂肪酸的金属盐或者它们的混合物,以在晶体硅片的表面上均匀地形成具有微锥体结构的纹理,以便在降低光反射的同时最大化太阳能的吸收,从而提高发光效率。
申请公布号 CN103547654A 申请公布日期 2014.01.29
申请号 CN201280024311.0 申请日期 2012.03.09
申请人 东友精细化工有限公司 发明人 洪亨杓;李在连;林大成
分类号 C09K13/02(2006.01)I;C23F1/24(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I 主分类号 C09K13/02(2006.01)I
代理机构 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人 杨黎峰;石磊
主权项 一种用于晶体硅片的纹理蚀刻组合物,按重量百分比计,包括:碱性化合物:0.1%至20%;多糖:10‑9%至10%;脂肪酸、脂肪酸的金属盐或者它们的混合物:10‑9%至10%;和水:余量至100%。
地址 韩国全罗北道益山市