感应装置和使用感应装置的低流动等离子体

摘要

这里描述的某些实施例涉及能够用于维持低流动等离子体的装置。在某些示例中，低流动等离子体能够维持在包括外管和在所述外管内的辅助管的焰炬中。在一些示例中，辅助管包括有效长度以与使用平板电极维持在焰炬中的低流动等离子体的形状相匹配。此处还公开了使用焰炬的方法和系统。

主权项

一种焰炬，其特征在于：该焰炬被配置为维持低流动等离子体，所述焰炬包括外管和在所述外管内的辅助管，所述外管包括无弯槽，所述辅助管包括有效长度以允许使用8升/分或更低的等离子气体速率且使用平板电极在所述焰炬中产生低流动等离子体。