发明名称
摘要
申请公布号 SU427310(A1) 申请公布日期 1974.05.05
申请号 SU19711698976 申请日期 1971.09.06
申请人 发明人
分类号 C23C18/14;G03G15/00;G03G17/00;(IPC1-7):G03G17/00 主分类号 C23C18/14
代理机构 代理人
主权项
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