具有机电谐振器的测量系统、制造该系统的方法和读取至少两个机电谐振器的方法

摘要

本发明涉及一种具有机电谐振器的测量系统，包括至少两个机电谐振器（1021…102N），每个都具有根据待测量的物理量而在空载谐振频率附近变化的谐振频率，和连接到所述谐振器的输入端并且被设计成将激励信号提供至所述输出端的至少一个读取设备（110）。该系统还包括存储器（120），在该存储器中针对每个谐振器存储有与该谐振器的空载谐振频率相关的空载谐振信息，并且每个读取设备（110）用于通过基于针对每个所选谐振器的空载谐振信息配置该读取设备（110）的至少一个元件来确定一个或更多个被选择用于读取的谐振器的谐振频率。

主权项

一种具有机电谐振器的测量系统，包括：－至少两个机电谐振器（1021…102N;1902），每个机电谐振器都具有根据待测量的物理量而在空载谐振频率附近变化的谐振频率，每个谐振器（1021…102N;1902）具有：－用于接收激励信号（e）的输入端（1041…104N），－用于响应于该激励信号（e）而提供输出信号（s1…sN）的输出端（1061…106N），该输出信号（s1…sN）在所述谐振器（1021…102N;1902）的谐振频率处具有谐振，并且每个谐振器（1021…102N;1902）都包括限定其空载谐振频率的机械结构，所述谐振器（1021…102N;1902）的机械结构彼此不同以使得所述空载谐振频率彼此不同，－至少一个读取设备（110;15021…1502M;1802），其连接到所述谐振器的输入端并且被设计成在所述输入端上提供激励信号，其特征在于还包括存储器（120;1201…120M;1906），在该存储器中针对每个谐振器存储有与所述谐振器的空载谐振频率相关的空载谐振信息，并且，每个读取设备（110;15021…1502M;1802）用于通过基于针对每个所选谐振器而存储的空载谐振信息配置所述读取设备（110;15021…1502M;1802）中的至少一个元件，来确定被选择用于读取的一个或更多个谐振器的谐振频率。