用于圆筒内壁的钟罩式镀膜设备

摘要

本实用新型公开一种用于圆筒内壁的钟罩式镀膜设备，包括一个内设多个靶电极的钟罩式真空腔体、可以上下移动的工件台、电源、真空系统等，其特征是：一个钟罩式真空腔固定在一个支架上，其真空腔内设有多个靶电极，在钟罩式真空室的下方，放置一个可以上下移动的圆形工件台，在该工件台上设有圆筒工件定位支架，当把工件台升起后，该工件台与钟罩式真空室形成真空密封，这时靶电极是插放在圆筒工件的中心位置，在靶电极接通电源后，在靶电极周围形成溅射等离子体，并溅射出靶上的粒子沉积在圆筒工件的内表面，在靶电极和圆筒工件之间可以施加偏压电场增加沉积层的结合力。该装置是用来涂覆圆筒工件的内壁，从而提高圆筒工件内壁的硬度和耐摩性能。

主权项

本实用新型公开一种用于圆筒内壁的钟罩式镀膜设备，包括一个内设多个靶电极的钟罩式真空腔体、可以上下移动的工件台、电源、真空系统等，其特征是：一个钟罩式真空腔固定在一个支架上，其真空腔内设有多个靶电极，在钟罩式真空室的下方，放置一个可以上下移动的圆形工件台，在该工件台上设有圆筒工件定位支架，当把工件台升起后，该工件台与钟罩式真空室形成真空密封，这时靶电极是插放在圆筒工件的中心位置，在靶电极接通电源后，在靶电极周围形成溅射等离子体，并溅射出靶上的粒子沉积在圆筒工件的内表面，在靶电极和圆筒工件之间可以施加偏压电场增加沉积层的结合力。