| 发明名称 | 用于电容测试组件的电容测试器件和方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了用于电容测试组件的电容测试器件和方法。测试头的实施方式包括：保持单元，被配置为拾取、保持和释放组件；电极，被配置为从组件接收电容信号；以及前置放大器，被配置为放大电容信号。 | ||
| 申请公布号 | CN103543337A | 申请公布日期 | 2014.01.29 |
| 申请号 | CN201310287005.2 | 申请日期 | 2013.07.09 |
| 申请人 | 英飞凌科技股份有限公司 | 发明人 | 薛明;郭荣耀 |
| 分类号 | G01R27/26(2006.01)I | 主分类号 | G01R27/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人 | 余刚;吴孟秋 |
| 主权项 | 一种测试组件的测试头，包括：保持单元，被配置为拾取、保持和释放所述组件；电极，被配置为从所述组件接收电容信号；以及前置放大器，被配置为放大所述电容信号。 | ||
| 地址 | 德国瑙伊比贝尔格市 | ||