一种光辅助LED湿法粗化设备

摘要

一种光辅助LED湿法粗化设备，属于发光二极管制造设备技术领域。包括密封箱体、腐蚀溶液槽、光源模块、通风排气扇、恒温加热装置以及定时器。腐蚀溶液槽、光源模块、通风排气扇以及恒温加热装置安装在密封箱体的内部，恒温加热装置安装在密封箱体的底部，腐蚀溶液槽安装在恒温加热装置的上方，光源模块与通风排气扇安装在箱体的顶部，定时器安装在密封箱体的外部。本发明可以有效粗化Ga面GaN以及GaP等难以粗化的半导体材料,显著缩短LED芯片粗化加工的时间，提高生产效率，并且使得LED 芯片的粗化制程高度可控，显著提高LED芯片的良率。

主权项

一种光辅助LED湿法粗化设备，其特征在于，包括腐蚀溶液槽、光源模块、通风排气扇、恒温加热装置以及定时器，腐蚀溶液槽、光源模块、通风排气扇以及恒温加热装置安装在密封箱体的内部，恒温加热装置安装在密封箱体的底部，腐蚀溶液槽安装在恒温加热装置的上方，光源模块与通风排气扇安装在箱体的顶部，在密封箱体的箱壁上设置有前面板和观察窗口，定时器安装在密封箱体的前面板上。