发明名称 | 形成CMOS器件的方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种形成CMOS器件的方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底包括待形成PMOS晶体管的第一区域和待形成NMOS晶体管的第二区域,在所述第一区域或所述第二区域具有已形成的金属栅极结构,所述已形成的金属栅极结构包括顶部金属层,在另一区域具有高k介质层以及在所述高k介质层上的、待去除的氧化物夹层;对所述顶部金属层进行氧化处理,形成覆盖所述顶部金属层的金属氧化物层;以及湿法刻蚀去除所述金属氧化物层及所述氧化物夹层。通过氧化处理,在顶部金属层上形成致密的金属氧化物层保护所述顶部金属层,既能够避免形成额外的光刻胶层,降低成本,又能够避免对已经形成的金属栅极结构造成不良影响。 | ||
申请公布号 | CN103545256A | 申请公布日期 | 2014.01.29 |
申请号 | CN201210241586.1 | 申请日期 | 2012.07.12 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 刘佳磊;何永根 |
分类号 | H01L21/8238(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/8238(2006.01)I |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
主权项 | 一种形成CMOS器件的方法,其特征在于,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底包括待形成PMOS晶体管的第一区域和待形成NMOS晶体管的第二区域,在所述第一区域或所述第二区域具有已形成的金属栅极结构,所述已形成的金属栅极结构包括顶部金属层,在另一区域具有高k介质层以及在所述高k介质层上的、待去除的氧化物夹层;对所述顶部金属层进行氧化处理,形成覆盖所述顶部金属层的金属氧化物层;湿法刻蚀去除所述金属氧化物层及所述氧化物夹层;以及在所述高k介质层上形成金属栅极。 | ||
地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 |