,申请号JP20100164696-传众专利搜索

发明名称
摘要
申请公布号	JP5401409(B2)	申请公布日期	2014.01.29
申请号	JP20100164696	申请日期	2010.07.22
申请人		发明人
分类号	H01L21/336;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/66;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/06;H01L29/41;H01L29/417;H01L29/78	主分类号	H01L21/336
代理机构		代理人
主权项
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