超声波产生装置及其制造方法、超声波处理装置及其制造方法

摘要

超声波产生装置的制造方法包括以下步骤：针对多个现有压电元件分别根据厚度方向的第1机电耦合系数以及径向的第2机电耦合系数算出性能值；以及针对各个临时状态，根据通过供给上述预定电流值的上述电流而产生的上述超声波振动的临时振幅相对于上述目标状态下的上述目标振幅的偏差来算出临时影响值。上述超声波产生装置的上述制造方法还包括以下步骤：从上述现有压电元件中选择安装于各个上述元件安装部的上述安装压电元件，以成为全部上述元件安装部的上述实质影响值的合计相对于上述目标振幅处于规定范围内的状态。

主权项

一种超声波产生装置的制造方法，包括以下步骤：针对多个现有压电元件分别算出基于厚度方向的第1机电耦合系数以及径向的第2机电耦合系数的性能值；设定目标状态，在该目标状态下，通过在上述超声波振动的传递方向上配置于彼此不同的位置的多个元件安装部分别安装上述性能值成为基准值的对应的基准压电元件，并且通过供给预定电流值的电流而产生目标振幅的超声波振动；自上述目标状态，仅在一个上述元件安装部安装上述性能值与上述基准值不同的临时压电元件来代替上述基准压电元件，关于针对每一个用于安装上述临时压电元件的上述元件安装部以及上述临时压电元件的上述性能值设定的各个临时状态，根据通过供给上述预定电流值的上述电流而产生的上述超声波振动的临时振幅相对于上述目标状态下的上述目标振幅的偏差来算出临时影响值；在将安装上述性能值与实际安装的安装压电元件的上述性能值相同的上述临时压电元件的上述临时状态下的上述临时影响值设为各个上述元件安装部的实质影响值的情况下，从上述现有压电元件中选择安装于各个上述元件安装部的上述安装压电元件，以成为全部上述元件安装部的上述实质影响值的合计相对于上述目标振幅处于规定范围内的状态；以及以上述厚度方向平行于上述超声波振动的上述传递方向并且上述径向垂直于上述超声波振动的上述传递方向的状态，将所选择的上述安装压电元件安装于各个上述元件安装部。