探针固持结构及其光学检测装置

摘要

本发明提供一种探针固持结构，其包括有一基板以及复数个固持模块。该基板具有一通孔以及复数个设置在该通孔的周围的槽体。该复数个固持模块，其分别与该复数个槽体相连接，每一个固持模块更具有一固定件以及复数个探针，其中，该固定件与对应的槽体相连接。该复数个探针连接于该固定件上，且通过对应的槽体。在另一实施例中，本发明更利用该探针固持结构以及具有镜头的镜头调整机构相组合以形成可以检测芯片电性的光学检测装置。

主权项

一种探针固持结构，其特征在于，包括：一基板，其具有一通孔以及复数个设置在该通孔的周围的槽体；以及复数个固持模块，其分别与该复数个槽体相连接，每一个固持模块更具有：一固定件，其与对应的槽体相连接；以及复数个探针，其连接于该固定件上，且通过对应的槽体。