| 摘要 |
1. Газоразрядный, в частности эксимерный лазер или лазер на молекулярном фторе, включающий в себя: заполненную газовой смесью лазерную камеру, состоящую, по меньшей мере, частично из керамического материала и имеющую отстоящие друг от друга протяженные первый и второй электроды, определяющие область разряда между ними, с первым электродом, расположенным вблизи или непосредственно на внутренней поверхности лазерной камеры, по меньшей мере, один протяженный блок предыонизации для предыонизации газа между первым и вторым электродами; систему циркуляции газа для обновления газа в области разряда между очередными разрядными импульсами; набор конденсаторов, расположенных вне лазерной камеры и соединенных с первым и вторым электродами через электрические вводы лазерной камеры и газопроницаемые обратные токопроводы, расположенные в лазерной камере по обе стороны электродов; источник питания, подключенный к конденсаторам и предназначенный для их импульсной зарядки до напряжения пробоя, обеспечивающего газовый разряд между первым и вторым электродами для возбуждения газовой смеси лазера, и резонатор для генерации луча лазера, при этомлазерная камера включает в себя керамическую трубу с двумя торцевыми фланцами, каждый из торцевых фланцев герметизирован с керамической трубой посредством уплотнительной кольцевой прокладки, и два торцевых фланца жестко скреплены между собой посредством протяженной вдоль керамической трубы крепежной системы.2. Лазер по п.1, в котором кольцевая прокладка, посредством которой торцевой фланец герметизирован с керамической трубой, размещена на наружной поверхности концевой ча� |
