发明名称 METODOS DE MONITORIZACION DE LA SALUD DE DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES.
摘要
申请公布号 ES2396533(B1) 申请公布日期 2014.01.27
申请号 ES20100000470 申请日期 2010.04.13
申请人 GAMESA INNOVATION & TECHNOLOGY, S.L. 发明人 BIRK, JENS
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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