| 摘要 |
1. Жидкофазный способ получения слоев, содержащих оксид индия, из безводного раствора,отличающийся тем, чтобезводная композиция, содержащая по меньшей мере один индий-галоген-алкоксид общей формулы InX(OR), где R - алкильный и/или алкоксиалкильный остаток и X - F, Cl, Br или I, и по меньшей мере один растворитель или дисперсионную среду в последовательности пунктов от a) до d) в безводной атмосфереa) наносится на подложку,b) нанесенная на подложку композиция облучается электромагнитным излучением с длиной волны ≤360 нм иc) при необходимости сушится и затемd) термически преобразуется в слой, содержащий оксид индия.2. Способ по п.1,отличающийся тем, чтоалкильные или алкоксиалкильные остатки по меньшей мере одного индий-галоген-алкоксида являются C1-C15-алкокси- или алкоксиалкильными группами.3. Способ по п.2,отличающийся тем, чтоиндий-галоген-алкоксид представляет собой InCl(OMe), InCl(OCHCHOCH), InCl(OEt), InCl(OiPr)или InCl(OtBu).4. Способ по п.1,отличающийся тем, чтобезводная композиция наряду с индий-галоген-алкоксидом имеет еще другие прекурсоры, предпочтительно алкоксиды и галоген-алкоксиды других элементов, особенно предпочтительно алкоксиды и галоген-алкоксиды B, Al, Ga, Ge Sn, Pb, P, Zn и Sb, растворенные или диспергированные.5. Способ по п.1,отличающийся тем, чтоиндий-галоген-алкоксид InX(OR)применяется с содержанием от 0,1 до 10% в пересчете на общую массу композиции.6. Способ по п.1,отличающийся тем, чторастворитель или дисперсионная среда является апротонным или слабопротонным растворителем или дисперсионной средой.7. Способ по п.6,отличающийся тем, чтопо меньшей мере один растворитель или дисперсионная среда является метанолом, этанолом, изопропанолом, тетрагидр� |
