| 摘要 |
La présente invention concerne un dispositif de pompage destiné à être raccordé à une chambre de procédés (2) comportant une pompe à vide primaire sèche (3), un moyen de pompage auxiliaire (4) monté en dérivation d'un clapet anti-retour (13) de la pompe à vide (3), un premier dispositif à vanne (5) raccordé à un moyen de purge (11) de la pompe à vide primaire sèche (3) et destiné à être raccordé à une alimentation en gaz (14), un deuxième dispositif à vanne (6) monté en dérivation du clapet anti-retour (13), en amont du moyen de pompage auxiliaire (4), et un moyen de contrôle configuré pour contrôler le premier et le deuxième dispositifs à vanne (5, 6) en fonction d'un état de fonctionnement de la chambre de procédés (2) de sorte que le premier dispositif à vanne (5) soit au moins partiellement fermé et le deuxième dispositif à vanne (6) soit ouvert lorsque la chambre de procédés (2) est en fonctionnement de vide limite. La présente invention concerne également un procédé de pompage d'une chambre de procédés (2) au moyen d'un tel dispositif de pompage (1). |
