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Thermo-Strömungsratensensor mit: – einem Strömungsratenerfassungschip (10), der ein Substrat mit einem dünnwandigen Abschnitt (12) und einen Strömungsratenerfassungsabschnitt mit einer Heizvorrichtung (13), der in dem dünnwandigen Abschnitt angeordnet ist, umfasst; – einem Schaltungschip (20), der über einen ersten Verbindungsdraht (60) mit dem Strömungsratenerfassungsabschnitt verbunden ist und einen Schaltungsabschnitt zur Regelung des Eingangs und Ausgangs des Strömungsratenerfassungsabschnitts umfasst; – einem Zuleitungsabschnitt (30), der über einen zweiten Verbindungsdraht (61) elektrisch mit dem Schaltungsabschnitt verbunden ist; – einem Stützelement (40), das einen Vertiefungsabschnitt (41) umfasst, in dem der Strömungsratenerfassungschip (10) angebracht ist; und – einem Formgießmaterial (50), das durch einen Formgießprozess in eine Form gebracht wird, um einen vorbestimmten Bereich, der den Schaltungschip (20), Verbindungsteile des ersten Verbindungsdrahts (60) mit dem Strömungsratenerfassungsabschnitt und dem Schaltungsabschnitt und Verbindungsteile des zweiten Verbindungsdrahts (61) mit dem Schaltungsabschnitt und dem Zuleitungsabschnitt (30) enthält, zusammenhängend zu bedecken, um so einen Teil des Strömungsratenerfassungsabschnitt, der die Heizvorrichtung (13) enthält, einem Messfluid auszusetzen, wobei: – der Strömungsratenerfassungschip (10) in dem Vertiefungsabschnitt (41) des Stützelements (40) so angeordnet ist, dass ein Zwischenraum (42) mit dem Vertiefungsabschnitt (41) gebildet ist und dass ein Hohlraumabschnitt (11) unterhalb des dünnwandigen Abschnitts (12) gebildet ist; – der Hohlraumabschnitt (11) über einen Verbindungsabschnitt (42, 43, 48), der den Zwischenraum (42) enthält, mit einem Außenbereich oberhalb des Strömungsratenerfassungschips (10) verbunden ist; und – der Zwischenraum (42) durch einen Füller (44) wenigstens in einem Abschnitt blockiert ist, der in dem vorbestimmten Bereich angeordnet ist, und der Füller verhindert, dass das Formgießmaterial (50) während des Formgießprozesses in den Zwischenraum (42) eindringt. |
