VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINER MIKROLITHOGRAPHISCHEN PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE

摘要

Eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage (10), die insbesondere für EUV-Licht ausgelegt ist, enthält ein Objektiv (26) mit einem adaptiven Spiegel (M2), der seinerseits ein Spiegelsubstrat (44) und eine Aktuierungseinheit (42) zum Verformen des Spiegelsubstrats (44) umfasst. Unter Verwendung von zuvor gemessenen Abbildungsfehlern wird ein Satz von Steuerbefehlen für die Aktuierungseinheit (42) bestimmt, bei dessen Übergabe an die Aktuierungseinheit (42) sich das Spiegelsubstrat (44) so verformt, dass die zuvor gemessen Abbildungsfehler korrigiert werden. Dieser Satz von Steuerbefehlen wird in einem nicht flüchtigen Datenspeicher (66) gespeichert und an die Aktuierungseinheit (42) übergeben. Wenn nach längeren Betriebsdauern der Betrieb der Projektionsbelichtungsanlage unterbrochen wird, kann durch einfaches Nachladen der gespeicherten Steuerbefehle der vorher vorhandene Korrekturzustand rasch wieder hergestellt werden, ohne dass eine erneute Messung der Abbildungsfehler des Objektivs (26) erforderlich ist.