发明名称 Halbleitervorrichtung mit Super-Junction-Struktur und Verfahren zur Herstellung derselben
摘要 <p>Halbleitervorrichtung mit einer Super-Junction-Struktur, die Folgendes aufweist: eine Vielzahl von ersten Spalten (4), die einen ersten Leitfähigkeitstyp aufweisen und sich in einer Stromflussrichtung erstrecken; und eine Vielzahl von zweiten Spalten (5), die einen zweiten Leitfähigkeitstyp aufweisen und sich in der Stromflussrichtung erstrecken, worin die ersten Spalten (4) und die zweiten Spalten (5) in einer Wechselrichtung senkrecht zu der Stromflussrichtung abwechselnd angeordnet sind, so dass die Super-Junction-Struktur bereitgestellt wird, jede erste Spalte (4) im Falle eines EIN-Zustands eine Drift-Schicht bereitstellt, durch die ein Strom fließt, die ersten Spalten (4) und die zweiten Spalten (5) zwischen der ersten Spalte (4) und der zweiten Spalte (5) eine Grenze aufweisen, von der sich im Falle eines AUS-Zustands eine Verarmungsschicht ausdehnt, jede der ersten Spalten (4) und der zweiten Spalten (5) an einer Ebene senkrecht zu der Stromflussrichtung ein Streifenplanarmuster aufweist, und wenigstens eine der ersten Spalten (4) und der zweiten Spalten (5) einen Brückenabschnitt (213) aufweist, der eine erste oder zweite Spalte (4, 5) und eine benachbarte erste oder zweite Spalte (4, 5) verbindet.</p>
申请公布号 DE102007004616(B4) 申请公布日期 2014.01.23
申请号 DE20071004616 申请日期 2007.01.30
申请人 DENSO CORPORATION 发明人 MIYAJIMA, TAKESHI
分类号 H01L29/06;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L29/06
代理机构 代理人
主权项
地址