| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Kaltgasspritzen. Bei diesem werden Partikel mit einem Kaltgasstrahl (17) auf ein Substrat (18) beschleunigt und bleiben an diesem haften. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass als Trägergas für den Kaltgasstrahl (17) Formiergas 95/5 mit einem Stickstoffanteil von 95 mol-% und einem Wasserstoffanteil von 5 mol-% verwendet wird. Mit diesem lässt sich vorteilhaft eine hohe Gasgeschwindigkeit im Kaltgasstrahl (17) erreichen, höher jedenfalls, als mit Luft oder Stickstoff, den üblichen Gasen für das Trägergas. Andererseits kann der Einsatz von Helium aus Kostengründen vorteilhaft eingespart werden. Das Mischungsverhältnis von Formiergas erlaubt außerdem vorteilhaft, dass dieses ohne gesonderte Sicherheitsvorkehrungen verwendet werden kann, die bei der Wahl von Wasserstoff als Trägergas ohne Zumischung anderer Gase erforderlich wären. Vorteilhaft lassen sich mit dem Formiergas erfindungsgemäß Gasgeschwindigkeiten im Kaltgasstrahl (17) erreichen, die über 1400 m/s liegen und damit die erreichbaren Geschwindigkeiten bei der Verwendung von Luft oder Stickstoff übertreffen.</p> |
