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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPS5465488(A)
申请公布日期
1979.05.26
申请号
JP19770131933
申请日期
1977.11.02
申请人
SUWA SEIKOSHA KK
发明人
OGUCHI KOUICHI
分类号
G01N27/12;G01N27/00;H01L21/822;H01L27/04
主分类号
G01N27/12
代理机构
代理人
主权项
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