Vorrichtung zum Abscheiden von Materialien auf einem Substrat

摘要

Verfahren und Vorrichtungen zum Abscheiden von Materialien auf einem Substrat sind hier bereitgestellt. In einigen Ausführungsformen kann eine Vorrichtung zum Bearbeiten eines Substrats eine Prozesskammer mit einer Substrathalterung umfassen, die darin vorgesehen ist, um eine Bearbeitungsfläche eines Substrats zu halten, einen Injektor, der auf einer ersten Seite der Substrathalterung angeordnet ist und über einen ersten Strömungspfad, um ein erstes Prozessgas bereitzustellen, und einen zweiten Strömungspfad verfügt, um ein zweites, vom ersten Prozessgas unabhängiges Prozessgas bereitzustellen, wobei der Injektor so positioniert ist, dass das erste und zweite Prozessgas über die Bearbeitungsfläche des Substrats hinweg bereitgestellt wird, einen über der Substrathalterung angeordneten Sprühkopf, um der Bearbeitungsfläche des Substrats das erste Prozessgas bereitzustellen, und eine Abgasöffnung, die auf einer zweiten Seite der Substrathalterung dem Injektor entgegengesetzt angeordnet ist, um das erste und zweite Prozessgas aus der Prozesskammer abzuziehen.