发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR UNIT
摘要
申请公布号 JPS54105485(A) 申请公布日期 1979.08.18
申请号 JP19780012841 申请日期 1978.02.06
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ISHIKAWA YUUICHI
分类号 H01L27/04;H01L21/822 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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