| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft eine Mehrschichtkörperanordnung (1) zur Vermeidung einer Glassubstratverbiegung, umfassend: -einen Mehrschichtkörper (2), mit einem Glassubstrat (30), einer funktionellen Beschichtung (10), die auf einer Seite des Glassubstrats (30) aufgebracht ist, und einer Hilfsschicht (20), die flächig mit der der funktionellen Beschichtung (10) abgewandten Seite des Glassubstrats (30) verbunden ist, -zwei Strahlerfelder (4) mit einer dazwischen liegenden Prozessebene, in der der Mehrschichtkörper (2) angeordnet ist, mit einer auf das Glassubstrat 30 einfallenden Strahlungsleistung Pges im Wellenlängenbereich von 250 nm bis 4000 nm zur Wärmebehandlung der funktionellen Beschichtung (10), wobei die Hilfsschicht (20) eine absorbierte Strahlungsleistung P20 von 10% bis 60% der einfallenden Strahlungsleistung Pges aufweist.</p> |
