半导体加工机台的防尘罩

摘要

本实用新型提供一种半导体加工机台的防尘罩，其与机台侧壁共同形成顶部开口的封闭空间，所述防尘罩包括能够打开用于操作机台的操作面，其中操作面包括边框，其中在边框之间形成一个可以通过移门打开和闭合的操作窗口、操作窗口下方为一个移门收容腔，所述移门可由气缸驱动自移门收容腔内移出/移入将所述操作窗口封闭/打开。本实用新型安装防尘罩无需使用设备电力，不会引起设备电力不稳定等不确定因素的影响。而采用单一气缸双直线滑轨结构，移门与防尘罩框架完全闭合，不会出现受力不均情况，直线滑轨可以保证移门同步，可以很好封闭，更好保护产品与外界环境隔离。而且本实用新型对机台的改动小，安装简单，操作方便，适用性广，成本低。

主权项

一种半导体加工机台的防尘罩，其特征在于，其与机台侧壁共同形成顶部开口的封闭空间，所述防尘罩包括能够打开用于操作机台的操作面，其中操作面包括边框，其中在边框之间形成一个可以通过移门打开和闭合的操作窗口、操作窗口下方为一个移门收容腔，所述移门可由气缸驱动自移门收容腔内移出/移入将所述操作窗口封闭/打开。