太赫兹圆极化双层90°波纹喇叭天线及其在体硅MEMS工艺下的制备方法

摘要

本发明涉及一种太赫兹圆极化双层90°波纹喇叭天线及其在体硅MEMS工艺下的制备方法，适用于太赫兹波段探测与成像等应用。本发明通过在太赫兹频段上，将90°波纹喇叭天线与加载90°波纹的圆极化器相结合，得到了性能良好的太赫兹圆极化双层90°波纹喇叭天线。

主权项

太赫兹圆极化双层90°波纹喇叭天线，其特征在于：天线结构由两部分组成：90°波纹喇叭和90°波纹圆极化器；90°波纹喇叭是一个线极化天线，由矩形波导馈电，在波导口面上添加一个波纹，形成90°波纹喇叭天线；在90°波纹喇叭天线上方，添加90°波纹圆极化器，该圆极化器由两部分组成：极化转换结构、两层刻蚀波纹；极化转换结构形状为位置相对且中心对称的两个近似扇形结构；两层刻蚀波纹中，位于内侧的波纹较宽，外侧的较窄。