发明名称 PROCEDE ET DISPOSITIF DE REGULATION DE LA DECHARGE DANS UN EQUIPEMENT DE PULVERISATION CATHODIQUE
摘要 <P>PROCEDE ET DISPOSITIF DE REGULATION DE LA DECHARGE DANS UN EQUIPEMENT DE PULVERISATION CATHODIQUE COMPORTANT DES REGULATEURS DE COURANT, DE TENSION ET DE PRESSION DE DECHARGE.</P><P>LA TENSION EST MAINTENUE CONSTANTE. LE COURANT INSTANTANE DE DECHARGE EST COMPARE A UNE VALEUR DE CONSIGNE. LA DIFFERENCE ET LA PRESSION INSTANTANEE SONT APPLIQUEES AU REGULATEUR DE PRESSION 13, DE FACON QU'EN CAS D'ECART DU COURANT DE DECHARGE, LA PRESSION DE PULVERISATION SOIT PORTEE A DES VALEURS TELLES QUE LE COURANT DE DECHARGE EST SENSIBLEMENT EGAL A LA VALEUR PREDETERMINEE.</P>
申请公布号 FR2425480(A1) 申请公布日期 1979.12.07
申请号 FR19790012100 申请日期 1979.05.11
申请人 LEYBOLD HERAEUS GMBH 发明人
分类号 C23C14/54;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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