摘要 |
<P>PROCEDE ET DISPOSITIF DE REGULATION DE LA DECHARGE DANS UN EQUIPEMENT DE PULVERISATION CATHODIQUE COMPORTANT DES REGULATEURS DE COURANT, DE TENSION ET DE PRESSION DE DECHARGE.</P><P>LA TENSION EST MAINTENUE CONSTANTE. LE COURANT INSTANTANE DE DECHARGE EST COMPARE A UNE VALEUR DE CONSIGNE. LA DIFFERENCE ET LA PRESSION INSTANTANEE SONT APPLIQUEES AU REGULATEUR DE PRESSION 13, DE FACON QU'EN CAS D'ECART DU COURANT DE DECHARGE, LA PRESSION DE PULVERISATION SOIT PORTEE A DES VALEURS TELLES QUE LE COURANT DE DECHARGE EST SENSIBLEMENT EGAL A LA VALEUR PREDETERMINEE.</P>
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