多发光单元半导体激光器空间阈值电流的测试方法及装置

摘要

本发明提供一种多发光单元半导体激光器空间阈值电流的测试方法，有以下步骤：对多发光单元半导体激光器发出的光进行快、慢轴准直；在快慢轴准直镜的后面放置显微物镜，用于半导体激光器多个发光单元在空间上放大，放大后的发光单元通过孔径光阑将各个独立的发光单元分离出来，调节孔径光阑的位置以及通光孔径只允许一个发光单元的光通过；通过改变驱动电流的大小，获得该发光单元相应的输出光功率；依次得到每个发光单元的阈值电流；形成空间阈值电流信息图。本发明能够测量多发光单元半导体激光器的空间阈值电流信息，进而实现评价半导体激光器封装所所产生的应力，从而指导和改善封装工艺。

主权项

一种多发光单元半导体激光器空间阈值电流的测试方法，包括以下步骤：（1）对多发光单元半导体激光器发出的光进行快轴准直和慢轴准直；（2）在快慢轴准直镜的后面放置显微物镜，用于半导体激光器多个发光单元在空间上放大，放大后的发光单元通过孔径光阑将各个独立的发光单元分离出来，调节孔径光阑的位置以及通光孔径只允许一个发光单元的光通过；（3）利用光电探测器对该发光单元进行功率测试，通过改变驱动电流的大小，获得该发光单元相应的输出光功率；（4）采用直线拟合法得到该发光单元的阈值电流；（5）保持多发光单元半导体激光器位置不动，通过移动孔径光阑，按照步骤（3）、（4）依次得到每个发光单元的阈值电流；（6）最后得到所有发光单元的阈值电流，形成空间阈值电流信息图。