微机电系统

摘要

本发明提供一种微机电系统，能够通过抑制由应力引起的MEMS的固有振动频率的变动来抑制由MEMS的检测灵敏度的变动导致的测量精度下降。首先，由于半导体衬底(2)的变形，固定部(3a～3d)在半导体衬底(2)的y方向上向外侧方向位移。可动体(5)以从半导体衬底(2)浮起的状态配置，因此不受半导体衬底(2)变形的影响，不发生位移。因此，在梁(4a)产生拉伸应力(+σ1)，在梁(4b)产生压缩应力(-σ2)。此时，考虑将梁(4a)和梁(4b)组合而成的弹簧系统，则由作用于梁(4a)的拉伸应力引起的弹簧常数的增加和由作用于梁(4b)的压缩应力引起的弹簧常数的减少相互抵消。

主权项

一种微机电系统，其特征在于，具有传感器元件，该传感器元件包括：第一弹簧系统，包括第一固定部、和一端与上述第一固定部连接的能够弹性变形的第一梁；第二弹簧系统，包括第二固定部、和一端与上述第二固定部连接的能够弹性变形的第二梁；第三弹簧系统，包括第三固定部、和一端与上述第三固定部连接的能够弹性变形的第三梁；第四弹簧系统，包括第四固定部、和一端与上述第四固定部连接的能够弹性变形的第四梁；可动体，能够向规定的位移方向位移，该可动体经由上述第一梁悬架于上述第一固定部，经由上述第二梁悬架于上述第二固定部，经由上述第三梁悬架于上述第三固定部，经由上述第四梁悬架于上述第四固定部，在将穿过上述传感器元件的与上述位移方向正交的正交方向上的中心并沿上述位移方向延伸的直线作为中心线时，从上述第一固定部观察到的上述第一梁的配置方向与从上述第二固定部观察到的上述第二梁的配置方向为相反方向，从上述第三固定部观察到的上述第三梁的配置方向与从上述第四固定部观察到的上述第四梁的配置方向为相反方向，在上述正交方向上，以上述中心线为中心，上述第一弹簧系统和上述第二弹簧系统配置于同一侧，上述第三弹簧系统和上述第四弹簧系统配置于相反侧。