一种氧化铝单晶生长提拉装置

摘要

本实用新型装置是一种在高温、高真空状态下进行氧化铝单晶生长专用设备的提拉装置。其中提拉杆为水冷套双夹层结构，水冷套通冷却水降温；提拉杆可沿固定轴平行于立柱水平旋转360°，在任意角度固定；提拉系统分为上下两层，上层横柱承担提拉杆旋转、籽晶杆冷却、真空密封和重量测量及支撑作用，下层立柱承担整个装置的升降、自动/手动切换和支撑横柱作用。解决了提拉杆的高温、真空保护问题以及在单晶生长过程中用于手动引晶、自动精确提拉问题，确保了单晶生长的品质。本实用新型发明结构简单、操作方便、刚性好、精度高，安装了特制的重量弹性限定器能有效完成手动/自动有效转换并能够防止随着晶体重量增加引起的提拉系统反向下移造成的产品损失。

主权项

一种用于氧化铝单晶生长的提拉装置，其特征在于：包括提拉杆（1）、密封焊接波纹管（2）、内旋转密封冷却水套（3）、旋转系统（4）、上层横柱（5）、下层立柱（6）、重量感应支撑装置（7）、滑座（8）、滚珠丝杆（9）、重量弹性限定器（10）、超越离合器分离装置（11）、手动手柄（12）、电磁离合器（13）、步进电机（14）、直角减速器（15）和手动/自动转换装置（16）；提拉杆（1）通过密封焊接波纹管（2）和内旋转密封冷却水套（3）与长晶炉体相连，旋转系统（4）通过连杆分别与内旋转密封冷却水套（3）和橫柱（5）连接，重量感应支撑装置（7）安装于立柱（6）与横柱（5）连接处并支撑横柱（5）的重量，立柱（6）上平行安装有滚珠丝杆（9）所组成的定位导轨方块；重量弹性限定器（10）和超越离合器（11）安装于滚珠丝杆（9）的下方，滚珠丝杆（9）的底端连接电磁离合器（13）。