蚀刻工具工艺指标方法和装置

摘要

提供一种为蚀刻室提供工艺指标的方法。将具有无图案蚀刻层的晶圆提供到所述蚀刻室中。对所述无图案蚀刻层执行无图案蚀刻。在所述执行无图案蚀刻完成后，在所述无图案蚀刻层上方沉积无图案沉积层。测量所述无图案蚀刻层的厚度和所述无图案沉积层的厚度。使用测量到的厚度确定工艺指标。

主权项

一种为蚀刻室提供工艺指标的方法，包含：a）将具有无图案蚀刻层的第一晶圆提供到所述蚀刻室中；b）对所述无图案蚀刻层执行无图案蚀刻；c）从所述蚀刻室除去所述第一晶圆；d）将第二晶圆提供到所述蚀刻室中；e）在所述蚀刻室中所述第二晶圆上方沉积无图案沉积层；f）在所述无图案蚀刻后测量所述第一晶圆的所述无图案蚀刻层的厚度；g）测量所述第二晶圆的所述无图案沉积层的厚度；以及h）使用所述测量的厚度确定工艺指标。