透光性板状体的微小缺陷的检查方法和透光性板状体的微小缺陷的检查装置

摘要

本发明涉及一种透光性板状体的微小缺陷的检查方法，一边沿着输送路径输送透光性板状体一边检查存在于该透光性板状体的微小缺陷，该透光性板状体的微小缺陷的检查方法具有以下步骤：预备检查步骤，向上述透光性板状体照射光，由预备摄像部拍摄上述透光性板状体的主表面，由此来确定在上述透光性板状体的主表面的面方向上存在的上述微小缺陷的位置；以及详查检查步骤，根据在上述预备检查步骤中得到的上述微小缺陷的位置，使主摄像部沿着上述透光性板状体的面方向在与上述透光性板状体的输送方向交叉的方向上移动，在与上述微小缺陷对准的状态下一边向上述输送方向移动一边拍摄上述微小缺陷。

主权项

一种透光性板状体的微小缺陷的检查方法，一边沿着输送路径输送透光性板状体一边检查存在于该透光性板状体的微小缺陷，该透光性板状体的微小缺陷的检查方法的特征在于，具有以下步骤：预备检查步骤，向上述透光性板状体照射光，由预备摄像部拍摄上述透光性板状体的主表面，由此来确定在上述透光性板状体的主表面的面方向上存在的上述微小缺陷的位置；以及详查检查步骤，根据在上述预备检查步骤中得到的上述微小缺陷的位置，使主摄像部沿着上述透光性板状体的面方向在与上述透光性板状体的输送方向交叉的方向上移动，在与上述微小缺陷对准的状态下一边向上述输送方向移动一边拍摄上述微小缺陷。