发明名称 一种标定位移平台线性度的方法及系统
摘要 本发明公开了一种标定位移平台线性度的方法及系统,在激光成像系统中使用,包括:第1步,第一图像采集设备获取标定尺上第一固定图形位置进行定位,获取所述第一图像采集设备的位置坐标;第2步,第二图像采集设备从相邻所述第一固定图形的第二固定图形起始,沿同一方向依次获取所述标定尺上的固定图形位置进行定位,依次获取所述第二图像采集设备的位置坐标;第3步,计算图像采集设备变化的线性度,根据所述线性度值可以表征所述位移平台的线性度。本发明的有益效果为,本发明结构简单,测量误差较小,实用性较强,通过简单的结构能够实现实时有效的标定测量系统间的变化,通过测量的线性度对位移平台进行补偿。
申请公布号 CN103529655A 申请公布日期 2014.01.22
申请号 CN201310526171.3 申请日期 2013.10.29
申请人 天津芯硕精密机械有限公司 发明人 李显杰;赵飞;陈勇
分类号 G03F7/20(2006.01)I;G01B11/00(2006.01)I 主分类号 G03F7/20(2006.01)I
代理机构 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 代理人 闫俊芬
主权项 1.一种标定位移平台线性度的方法,在激光成像系统中使用,其特征在于,第1步,第一图像采集设备获取标定尺上第一固定图形位置进行定位,获取所述第一图像采集设备的位置坐标;第2步,第二图像采集设备从相邻所述第一固定图形的第二固定图形起始,沿同一方向依次获取所述标定尺上的固定图形位置进行定位,依次获取所述第二图像采集设备的位置坐标;第3步,设定所述标定尺固定图形的间距为L,设定获取的所述第一图像采集设备的位置坐标为P1,获取的所述第二图像采集设备的位置坐标依次为P2、P3、P4,计算P1与P2的距离为L1,计算P3与P4的距离为L2,通过下述得到线性度值X:<img file="FDA0000403964600000011.GIF" wi="560" he="94" />根据所述线性度值可以表征所述位移平台的线性度。
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