分离式喷淋头结构

摘要

本发明公开了一种分离式喷淋头结构，包括：气体分配部，至少具有第一气体分配腔室和第一气体管，所述第一气体分配腔室用于提供第一气体，所述第一气体管的一端与所述第一气体分配腔室相连通；冷却部，与所述气体分配部的下表面相连接，所述冷却部下方为反应区域，所述冷却部中至少设置有第一延伸管，所述第一延伸管一端与所述第一气体管的另一端相连接，来自所述第一气体分配腔室的气体经过所述第一气体管和所述第一延伸管流向反应区域；其中所述冷却部的上表面以及所述气体分配部的下表面具有台阶设计，且所述冷却部的上表面的台阶设计的形状与气体分配部的下表面的台阶设计的形状互补，使得所述冷却部与气体分配部之间的连接界面为台阶表面。

主权项

一种分离式喷淋头结构，其特征在于，所述结构包括：气体分配部，至少具有第一气体分配腔室和第一气体管，所述第一气体分配腔室用于提供第一气体，所述第一气体管的一端与所述第一气体分配腔室相连通；冷却部，与所述气体分配部的下表面相连接，且所述冷却部下方为反应区域，所述冷却部中至少设置有穿设所述冷却部的第一延伸管，所述第一延伸管一端与所述第一气体管的另一端相连接，来自所述第一气体分配腔室的气体经过所述第一气体管和所述第一延伸管流向反应区域；所述冷却部的上表面以及所述气体分配部的下表面具有台阶设计，且所述冷却部的上表面的台阶设计的形状与气体分配部的下表面的台阶设计的形状互补，使得所述冷却部与气体分配部之间的连接界面为台阶表面。