硅烷热分解法与改良西门子法耦合生产多晶硅的方法

摘要

本发明涉及硅烷热分解法与改良西门子法耦合生产多晶硅的方法。将硅烷法热分解尾气利用三氯氢硅及四氯化硅通过反歧化反应消除硅烷；反应后气体经精馏塔脱除四氯化碳后与外购三氯氢硅混合，作为改良西门子法原料，大大提高了原料利用率。本工艺流程主要特点是利用硅烷法在分解炉中使高纯硅烷分解制取多晶硅及氢气；氢气及未反应的硅烷气体与外购三氯氢硅、四氯化硅按一定比例混合经反歧化反应工段使硅烷完全反应；剩余混合气体进入精馏塔脱除四氯化硅；多晶硅还原炉内由氢气将三氯氢硅还原为多晶硅，尾气经由尾气处理系统再循环利用。该工艺将硅烷法产生的氢气及剩余硅烷高效利用，降低生产过程危险性，并且两种传统工艺耦合降低了工艺总投资。

主权项

一种硅烷热分解法与改良西门子法耦合生产多晶硅的方法，其特征是：高纯硅烷和氢气在热分解炉里发生热分解反应；反应的尾气中未完全反应的硅烷和氢气再与一定量三氯氢硅及四氯化硅混合进入反歧化反应工段，通过反歧化反应消除硅烷；反歧化反应工段排出的气体三氯氢硅、四氯氢硅与氢气进入精馏塔脱除四氯化碳；精馏塔塔顶出料与三氯氢硅混合进入西门子法的多晶硅还原炉，在还原炉内氢气还原三氯氢硅生成多晶硅。