聚合物组合物、包含该聚合物组合物的光致抗蚀剂以及包含该光致抗蚀剂的涂覆制品

摘要

本发明涉及聚合物组合物、包含该聚合物组合物的光致抗蚀剂以及包含该光致抗蚀剂的涂覆制品，提供了一种共聚物，其包含如下化学式（I）的溶出速率控制单体、化学式（II）的非环乙烯基醚单体以及化学式（III）的环乙烯基醚单体的聚合产物：其中R^a、X、Z¹、R^b、R^c和L如本文所定义。还揭示了包含所述共聚物的光致抗蚀剂和涂覆制品。

主权项

1.一种共聚物，其包含以下物质的聚合产物：化学式（I）的溶出速率控制单体、化学式（II）的非环乙烯基醚单体以及化学式（III）的环乙烯基醚单体：其中，R^a是H、F、C_1-10烷基或C_1-10氟烷基，前提是化学式（I）的单体的至少一种情况的R^a是C_1-10氟烷基，X是O或NR，其中R是H、C_1-10烷基或者C_6-10芳基，Z¹是C_1-20亚烷基、C_3-20亚环烷基、C_6-20亚芳基或者C_7-20芳亚烷基，其中Z¹任选地含有芳族羟基或者非芳族羟基、磺酸盐/酯、磺酸、磺酰胺、磺酰亚胺、羧酸、酯、碳酸盐/酯、酰胺或者包括至少一种上述物质的组合，R^b分别独立地是H或者C_1-20烷基、C_3-20环烷基、C_6-20芳基或者C_7-20芳烷基，其中，R^b任选地包括F、-C(=O)-O-或者包括至少一种上述物质的组合，R^c是C_1-20烷基、C_3-20环烷基、C_6-20芳基或者C_7-20芳烷基，其中，R^c任选地含有F、-O-、S-、NR-、-C(=O)-O-或者-OH，其中，R是H、C_1-10烷基、C_3-10环烷基、C_6-10芳基或者C_6-10芳烷基，以及L包括C_1-20亚烷基、C_3-20亚环烷基、C_6-20亚芳基或者C_7-20芳亚烷基，并且L任选地包含F、-OH、或者包括至少一种上述物质的组合。