紫外线感测元件以及制作方法

摘要

本发明提供一种紫外线感测元件，可供使用于三晶体管影像感测电路中，其包括第一导电型基材、第二导电型掺杂区、以及高浓度第一导电型掺杂区。第一导电型基材具有受光面。第二导电型掺杂区设置于第一导电型基材内且邻接于受光面。高浓度第一导电型掺杂区，邻接于第二导电型掺杂区下方。本发明亦提供可使用于四晶体管影像感测电路中的另一种紫外线感测元件，其与连接三晶体管影像感测电路的紫外线感测元件相较，更增加高浓度第一导电型表面掺杂区，夹置于受光面与第二导电型掺杂区之间。此外，前述的紫外线感测元件的制作方法亦被提出。

主权项

一种紫外线感测元件，供使用于一影像感测电路中，其特征在于，该紫外线感测元件包括：一第一导电型基材，具有一受光面以供接收受感测光；一第二导电型掺杂区，设置于该第一导电型基材内且邻接于该受光面；以及一高浓度第一导电型掺杂区，邻接于该第二导电型掺杂区下方，由此，在该高浓度第一导电型掺杂区形成电位障碍而阻隔较长波段光线所感应产生的光电子。