放射线检测器

摘要

本发明提供一种放射线检测器，该放射线检测器防止隔着层间绝缘层互相交叉的电配线彼此之间短路，而防止检测元件发生缺损。根据本发明的结构，为了防止非晶硒层（1）和有源矩阵基板（4）的电配线短路而进行了研究。即，电配线设于非晶硒层（1）的被层厚度较厚的部覆盖的位置。通过设为这样的结构，由于电配线能够可靠地与电极层隔离，因此能够提供一种能够经得住长时间使用的放射线检测器。

主权项

一种放射线检测器，其特征在于，该放射线检测器依次层叠有：矩阵基板，其以二维排列且用于自各检测元件读出信号；半导体层，其通过入射放射线而生成载流子；以及电极层，其被施加电压；上述半导体层具有：上述电极层下的具有层厚的中央部；以及厚度比上述中央部薄的楔形形状的端部；上述矩阵基板具有分别沿纵向延伸和沿横向延伸的电配线，该电配线处于立体交叉的位置关系，在自上述半导体层侧看上述矩阵基板时，上述电配线所重叠的交叉部设于上述半导体层的被上述中央部覆盖的位置。