兰姆波器件及其制造方法

摘要

本发明提供兰姆波器件及其制造方法，能够高精度地测定压电基板的厚度，能够容易地得到目标谐振特性。本发明的一个实施方式的兰姆波器件具有压电功能层（110）和支承体（120）。压电功能层具有压电基板（11）、IDT电极（12）以及切口部（14）。IDT电极配置在压电基板的表面上。切口部（14）设置在压电基板上，包含连接压电基板的表面与背面之间的阶梯面（140）。支承体具有支承面（201）和腔部（23）。支承面与压电基板的背面接合，隔着切口部（14）露出到压电基板的表面侧。腔部与支承面相邻设置，隔着压电基板而与IDT电极相对。

主权项

一种兰姆波器件，其中，该兰姆波器件具有压电功能层和支承体，所述压电功能层具有压电基板、IDT电极以及切口部，所述压电基板具有第1面和与所述第1面相对的第2面，所述IDT电极配置在所述第1面上，所述切口部设置在所述压电基板上，包含连接所述第1面与所述第2面之间的阶梯面，所述支承体具有支承面和腔部，所述支承面与所述第2面接合，隔着所述切口部露出到所述第1面侧，所述腔部与所述支承面相邻设置，隔着所述压电基板而与所述IDT电极相对。