用于硅单晶切磨一体机的万向夹头

摘要

本实用新型涉及直拉硅单晶棒的开方及研磨一体式加工设备，旨在提供一种用于硅单晶切磨一体机的万向夹头。该万向夹头包括用于与待加工单晶硅棒料端面接触的非金属防滑垫；万向夹头的主体由夹头动块和夹头定块组成类似推力关节轴承的结构，防水用的不锈钢波纹管连接夹头动块和夹头定块的外侧。该产品为硅单晶切磨一体机提供了能同时满足单晶硅棒开方、研磨外圆、研磨平面的加工装夹方式，克服了硅单晶切磨一体机的技术难点。大大提高了单晶硅棒加工的生产效率；减少了人工费用，消除了线开发粘棒所消耗的砂浆物料成本以及此三工序之间的搬运成本；减小了多次装夹造成的尺寸误差。

主权项

用于硅单晶切磨一体机的万向夹头，包括用于与待加工单晶硅棒料端面接触的非金属防滑垫；其特征在于，万向夹头的主体由夹头动块和夹头定块组成类似推力关节轴承的结构，防水用的不锈钢波纹管连接夹头动块和夹头定块的外侧； 所述类似推力关节轴承的结构是指：夹头定块的内球面与夹头动块的外球面紧密接触；夹头动块的外侧设沉孔，其底部贯设通孔；沉孔中装有弹簧、预紧弹簧芯轴和预紧弹簧盖板，并通过预紧销钉将预紧弹簧芯轴、弹簧和夹头动块固定于夹头定块上；弹簧套设在预紧弹簧芯轴外侧，预紧弹簧盖板位于预紧弹簧芯轴的端部。