一种带工艺保护端的子锭硅棒及其制作方法

摘要

本发明公开了一种带工艺保护端的子锭硅棒及其制作方法，所述工艺保护端的子锭硅棒由硅片切割区段和设置在硅片切割区段两端的工艺保护段组成。由于在待切片子锭硅棒的两端预留了工艺保护段，在切割过程中，位于子锭硅棒两头的工艺保护段对最外端的硅片起到保护作用，不会出现掉片、缺角、崩边等情况，不仅避免在硅片切割过程中因子锭硅棒两端斜坡导致切割钢丝线断线，而且能有效防止最外侧的硅片出现裂片、缺角、崩边等缺陷，保证了硅棒的出片率和硅片的合格率。

主权项

一种带工艺保护端的子锭硅棒，其特征是：包括硅片切割区段（11）和工艺保护段（12），在硅片切割区段（11）两端留有工艺保护段（12）。