一种基于压力传感的倾角传感器

摘要

本发明公开了一种基于压力传感的倾角传感器，包括衬底、两个微压力传感器和盖板，所述衬底的中部设置有一竖向深槽，在衬底的底部设置有压力弹性膜，所述微压力传感器设置在压力弹性膜底部对称位置；所述深槽内、压力弹性膜的上方盛放有液体，所述盖板密封在深槽上方；在压力弹性膜的底部设置有绝缘介质膜，所述绝缘介质膜覆罩住压力弹性膜和两个微压力传感器。本发明提供的基于压力传感的倾角传感器，原理明确，可以采用成熟的硅加工工艺进行批量的生产制造，成本低，并且容易和电路进行集成；微压力传感器可以采用压阻应力传感器检测压力变化，信号处理简单；微压力传感器主要用于检测应力差值，无温漂效应。

主权项

一种基于压力传感的倾角传感器，其特征在于：包括衬底（1）、两个微压力传感器（2）和盖板（6），所述衬底（1）的中部设置有一对称截面形状的竖向无底深槽，在衬底（1）的底部设置有压力弹性膜（7），所述压力弹性膜（7）密封住深槽的底部，且压力弹性膜（7）相对于深槽的截面对称线对称，所述两个微压力传感器（2）分别设置在压力弹性膜（7）底部、深槽下方位置，且两个微压力传感器（2）相对于深槽的截面对称线对称；所述深槽内、压力弹性膜（7）的上方盛放有液体（5），在压力弹性膜（7）位置水平时，液体（5）的液面与深槽的上沿存在间隙，所述盖板（6）密封在深槽上方；所述压力弹性膜（7）的底部设置有绝缘介质膜（3），所述绝缘介质膜（3）除金属引线连接位置外覆罩住压力弹性膜（7）和两个微压力传感器（2）。