在玻璃或金属基片上沉积铜铟镓硒吸收层的设备和方法

摘要

本发明在玻璃或金属基片上沉积铜铟镓硒吸收层的设备，包括至少一组铜铟镓磁控溅射沉积系统、硒化系统，设备中至少有一套硒蒸发沉积装置，硒蒸发沉积装置中有贯通微孔和/或微缝对气体具渗透性的空心管状加热器、和与空心管状加热器同轴安装的管状加温保温隔热外罩，单质硒置于空心管状加热器内加热、产生的硒蒸气渗过空心管状加热器、在管状加温保温隔热外罩的约束下。从管状加温保温隔热外罩的条形开口喷出，并向邻近的基片沉积，改变管状加温保温隔热外罩的条形开口的安装方向，可实现硒蒸气的任意方向喷出和沉积。本发明还提供了大面积沉积铜铟镓硒吸收层的连续式生产的方法。本发明克服了多元共蒸法、硒化法固有的缺点。

主权项

在玻璃或金属基片上沉积铜铟镓硒吸收层的设备，包括至少一组铜铟镓磁控溅射沉积系统、硒化系统，其特征在于设备中至少有一套硒蒸发沉积装置，硒蒸发沉积装置中有贯通微孔和/或微缝对气体具渗透性的空心管状加热器、和与空心管状加热器同轴安装的管状加温保温隔热外罩，单质硒置于空心管状加热器内加热、产生的硒蒸气渗过空心管状加热器、在管状加温保温隔热外罩的约束下从管状加温保温隔热外罩的条形开口喷出、并向邻近的基片沉积，改变管状加温保温隔热外罩的条形开口的安装方向，可实现硒蒸气的任意方向喷出和沉积。