| 发明名称 | 形成具有改变的应力特性的膜的方法 | ||
| 摘要 | 一种改变膜的应力特性的方法在一个实施例中包括：提供膜层；确定期望应力改变；和基于所确定的期望应力改变在膜层中形成至少一个槽。 | ||
| 申请公布号 | CN103534195A | 申请公布日期 | 2014.01.22 |
| 申请号 | CN201280023162.6 | 申请日期 | 2012.04.13 |
| 申请人 | 罗伯特·博世有限公司 | 发明人 | A·B·格雷厄姆;G·亚马;G·奥布莱恩 |
| 分类号 | B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;G01L9/00(2006.01)I | 主分类号 | B81B3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 周家新 |
| 主权项 | 一种改变膜的应力特性的方法，包括：提供膜层；确定期望应力改变；和基于所确定的期望应力改变在膜层中形成至少一个槽。 | ||
| 地址 | 德国斯图加特 | ||